（1）维氏镀层硬度计试样特征的影响
维氏硬度试样材料有明显的结构特征时，压痕形状将不规则。对于大晶粒合金或单晶，不同位向也会反映出差异。试样表面光洁度、表面有无疏松，工作面与支撑面的不平行度均对所测结果的准确性有影响
（2）维氏硬度试样加工方法的影响
机械抛光对显微硬度值有明显影响，这是因为抛光时表层会产生很小的塑性形变，无损检测资源网有的表层还会产生一层很薄的非晶层，所以机械抛光所测得的显微硬度值比电解抛光所测得的结果要高。当检测力较小时，压痕很小，压痕因弹性回复的收缩的比例就比较大，所以根据回复后压痕尺寸计算求得的显微硬度值总是比较高。